2014年4月20日，新竹科学园区，台积电总部。
张教授坐在那间宽大的办公室里，手里握着他标志性的烟斗，但并没有点燃。
桌上放着两份文件。
左边，是来自美国应用材料和阿斯麦的“合规告知函”。措辞虽然委婉，但意思很赤裸：如果不停止接方向阳集团的先进制程订单，台积电未来的设备采购可能会遇到“不可预见的技术审查”。
右边，是向阳集团发来的“天元4号”（20nm工艺）追加订单，数量惊人：1500万颗。
“董事长，美国那边的压力很大。”
运营副总站在办公桌前，神色焦虑，“科恩那边虽然没有明说，但暗示已经给够了。如果我们继续给林向阳流片，可能会引火烧身。是不是……把这单退了？理由可以用产能不足。”
张忠谋沉默了许久，拿起那份订单，手指轻轻摩挲着纸面。
他是一个纯粹的商人，但他也是一个极其讲究契约精神的工程师。
“产能不足？”张忠谋哼了一声，那是对这种蹩脚谎言的不屑，“台积电什么时候需要靠撒谎来做生意了？”
他站起身，走到窗前，看着外面繁忙的厂区。
“林向阳这个年轻人，我有印象。他能在那个贫瘠的土地上搞出光刻胶，搞出90纳米，是个值得尊敬的对手。或者说，未来的对手。”
“如果我们现在断供，那就是在帮美国人搞政治绞杀，这不是生意的做法。”
张忠谋转过身，眼神变得锐利如刀。
“传我的命令。”
“启动‘Super hot Run’（超级急件）流程。把其他不急的单子往后挪，腾出Fab 12和Fab 14的产能。”
“告诉林向阳，我给他三个月时间。这1500万颗芯片，我一颗不少地给他造出来。三个月后，让他自己保重。”
副总愣住了：“董事长，这可是把产能拉爆了啊！而且美国那边……”
“我只承诺了‘不再接受新订单’，没说‘不履行旧合同’。”张忠谋把烟斗叼在嘴里，虽然没火，但他似乎尝到了某种决断的味道。
“做生意，要留一线。也许十年后，我们还得跟这个年轻人打交道呢。”
……
三天后。北京，向阳大厦。
“林总！台积电回函了！”
赵子明冲进办公室，兴奋得差点摔一跤，“张教授够意思！他没砍单，反而给我们开了绿灯！只要我们在三个月内付清全款，1500万颗‘天元4号’，在7月份之前全部交货！”
林向阳看着那份加急的回函，心中涌起一股暖意，也有一丝悲凉。
1500万颗。加上之前的库存，够向阳手机的高端线卖整整一年。
这也就是张教授能做的极限了。这是一张昂贵的“缓刑通知书”。
“一年。”
林向阳竖起一根手指，看着面前的核心团队，“不管是科恩的封锁，还是台积电的情分，都只给了我们一年的时间。2015年的夏天，如果我们的国产光刻机还停留在90nm，那我们的高端手机就得退市。”
“90nm做矿机、做电源、做低端芯片够了。但要做跑得动安卓系统的旗舰cpU，至少要到45nm，甚至28nm。”
林向阳转头看向王博：“老王，调整部署。”
“‘盘古2号’现在的状态最好，良率已经稳定在90nm。把它彻底转为生产机。全力生产‘隐形者’（门罗币芯片）和后续的逻辑芯片，给集团造血。”
“那‘盘古1号’呢？”王博问。那是第一台拉回来的老机器，也就是最早那台180nm的底子，虽然经过多次魔改，但已经显出疲态。
“把它停下来，拉回‘深渊’的核心实验区。”
林向阳的眼中闪过一丝疯狂的光芒。
“这台老伙计，要再做一次大手术。这一次，我们要把它变成……一艘‘潜水艇’。”
……
北京西郊，“深渊”实验室休息区。
空气中弥漫着高浓度臭氧和焦灼的味道。
朱克勤教授正对着黑板上的一堆光学公式发呆，脚下是一地的烟头。化工疯子-陈志平也在，手里拿着一瓶光刻胶的成分表，眉头紧锁得能夹死苍蝇。
黑板上写着光刻机的终极判决——瑞利判据（Rayleigh criterion）：
$$R = k_1 \frac{\lambda}{NA}$$
其中，$R$是分辨率（越小越好），$\lambda$是光源波长，$NA$是数值孔径。
“死胡同。这就是个死胡同。”
朱教授把粉笔头狠狠地扔在地上，声音沙哑，“林总，物理定律锁死了我们。我们用的光源是193nm的ArF（氟化氩）准分子激光。在空气中，$NA$（数值孔径）的理论极限是1，实际上做到0.93就是顶峰了。”
“按照公式算下来，干式光刻机的物理极限就是65nm。要想再往下做45nm或者28nm，必须缩短波长 $\lambda$。”
“那就换更短波长的光源啊！”赵子明在旁边急得直跺脚，“既然193nm不行，咱们能不能搞157nm的？”
“搞不了。”朱教授痛苦地抓了抓稀疏的头发，“157nm的F2激光会被空气和所有普通玻璃吸收，必须用萤石（caF2）做镜头。萤石矿和加工技术全被美国人控住了，我们连一块镜片都买不到。”
这是一个完美的死局。
光源波长 $\lambda$ 缩短不了（买不到设备），$NA$ 值提不上去（空气折射率限制）。向阳集团的技术之路，似乎在65nm这个节点上，被一堵看不见的空气墙彻底挡死了。
实验室里一片死寂，只有通风扇嗡嗡的转动声。
林向阳没有说话。他不是神，他不知道ASmL是怎么做的。但他是一个极致的理科生，他相信物理学不会只有一条路。
他走到实验台旁，那里放着半杯纯净水，还有一支用来画图的铅笔。
他端起水杯，准备喝一口润润嗓子。
突然，他的动作停住了。
透过玻璃杯的侧面，他看到了那支插在水里的铅笔。
在水面和空气的交界处，铅笔“断”了。水下的那部分铅笔，看起来比水上的部分要粗，而且位置发生了明显的偏移。
折射。
初中物理知识。光从一种介质进入另一种介质时，传播速度发生改变，从而导致光路偏折。
林向阳的脑海中仿佛有一道闪电划过。他死死地盯着那杯水，仿佛那不是水，而是真理的海洋。
“朱老。”
林向阳的声音有些发颤，他举起那杯水，“为什么铅笔在水里看起来是断的？”
朱教授愣了一下，没好气地说：“折射率不同啊。空气的折射率 $n$ 约等于1，水的折射率 $n$ 约等于1.44。光在水里走得慢，波长变短了。”
“波长……变短了？”
林向阳捕捉到了那个关键词。
他猛地放下水杯，快步走到黑板前，抓起粉笔，在那行公式下面重重地画了一条线。
“我们一直在想怎么换光源，怎么把193nm的光源换成157nm的。但这路不通。”
“但是，如果我们不换光源，而是换介质呢？”
林向阳转过身，眼中的光芒亮得吓人。
“朱老，您刚才说，水的折射率是1.44。”
“如果我们把镜头和晶圆之间的空气抽干，注满这杯水呢？”
他在黑板上写下了等效波长的公式：
$$\lambda_{eff} = \frac{\lambda_{air}}{n}$$
“把193nm除以1.44……”林向阳快速计算，“等于134nm！”
“朱老，看！”林向阳指着那个数字，声音因为激动而拔高，“134nm！这比我们要死要活都搞不到的157nm光源还要短！”
“只要加一杯水，我们手里的193nm光源，就能发挥出比顶级F2激光还要强的分辨率！”
轰——
就像是一颗深水炸弹在朱克勤的脑海中炸开。
老教授猛地站起来，浑身颤抖。他冲到黑板前，盯着那个简单的除法算式。
这是最基础的光学原理。基础到任何一个物理系的大一新生都懂。但在光刻机这个精密到令人发指的领域，所有人都习惯了“真空”和“洁净空气”，从来没有人敢往那个充满了杂质和导电风险的“水”上去想。
“水……做介质……”
朱教授喃喃自语，手里的烟头烧到了手指都浑然不觉，“如果 $n=1.44$，代入 $NA = n \cdot \sin(\theta)$……$NA$值可以突破1！理论上可以达到1.35！”
“那分辨率……”朱教授迅速心算，“可以推进到45nm，甚至……28nm！”
“我的天……”赵子明在旁边听傻了，“林总，你是说，咱们往光刻机里灌水，这机器反而变强了？”
“不仅是变强，是进化。”
林向阳看着众人，语气坚定，“既然前面的路被封死了，那我们就把路淹了，游过去。”
“这就是——浸没式光刻。”
“不行！这太疯狂了！”
一直没说话的化工疯子陈志平突然站了出来，一脸的惊恐，“林总，我是搞化工的。理论上你是对的，但工程上这是自杀！”
“你知道水有多脏吗？哪怕是超纯水，里面也有离子。而且水在高速流动时会产生气泡！对于纳米级的光刻来说，一个微小的气泡就是一颗核弹，光线一散射，芯片就全是麻子！”
“还有光刻胶！现在的光刻胶是亲水的，一碰到水就化了。难道我们要给每一片晶圆穿雨衣吗？”
陈志平摊开手，指着那台精密的“盘古1号”：“这等于要把一台显微镜扔进洗衣机里，还要让它拍出高清照片。这根本做不到！”
“做不到也要做。”
林向阳把那支铅笔从水杯里拿出来，在桌子上重重一顿。
“因为我们没得选。”
“陈老，光刻胶怕水，那你就去研发一种疏水的顶涂层，像荷叶一样把水隔开。你是全中国最好的化工专家，我相信你搞得定。”
“王博，气泡的问题交给你。我要你利用向阳云的算力，模拟流体力学模型。设计一个特殊的喷头，能在镜头下形成一个稳定的‘水桥’，让水流快到气泡来不及产生就被带走。”
“朱老，您负责改光路。把镜头的焦距重新标定，适应水的折射率。”
林向阳走到那台已经有些沧桑的“盘古1号”面前，抚摸着它冰冷的金属外壳。
“这台机器，是我们最早从垃圾堆里捡回来的。它已经老了，本来该退役了。”
“但现在，我们要给它做个大手术。失败了，它就是一堆废铁；成功了，它就是我们冲破科恩封锁线的核潜艇。”
林向阳转过身，目光扫过在场的每一个人。
“美国人封锁了萤石，封锁了光源，封锁了路。”
“但他们封锁不了水。”
“我们要用这一杯水，淹死他们的技术霸权。”
朱克勤教授盯着林向阳那张年轻而坚毅的脸，又看了看黑板上那个打破常规的公式。他突然笑了起来，那是科学家在绝境中看到真理之光时的狂喜。
“好一个‘把路淹了游过去’！”
老教授狠狠地拍了一下桌子，“老陈，老王，别愣着了！咱们这帮老骨头，这回要下海了！我就不信，咱们中国人连水都玩不转！”
……
与此同时。美国，华盛顿。
科恩正在听取ASmL技术代表的汇报。
“你是说，尼康和佳能还在死磕157nm干式路线？”科恩问。
“是的，先生。”技术代表恭敬地回答，“157nm的萤石镜头加工难度极大，目前良率很低。ASmL也在观望。不过，我们监控到，向阳集团最近似乎停止了寻找萤石，转而在市场上大量采购……工业级超纯水设备？”
“超纯水？”科恩愣了一下，随即嗤笑一声，放下了手中的酒杯，“怎么？林向阳是发现芯片造不出来，打算改行卖瓶装水了吗？”
“可能是在清洗旧设备吧。”技术代表耸耸肩，语气轻蔑，“毕竟他们的光刻机是从垃圾堆里捡回来的，工艺落后，良率低，多洗洗也是正常的。那种90nm的老古董，除了能当洗衣机用，还能干什么？”
科恩放心了。
“盯着台积电。”科恩下令，“张忠谋虽然答应了我们的要求，但他还是给了林向阳一年的备货期。我不喜欢这个老狐狸的两面三刀。”
“不过，一年之后，当这批库存用完，我要看到向阳集团因为没有芯片而窒息。”
“他想用90nm做手机？那是做梦。那是十年前的技术。”
科恩重新端起酒杯，看着窗外的波托马克河。
他嘲笑着林向阳的“卖水”行为，却不知道，大洋彼岸那个年轻的天才，正是从一杯最普通的水里，看到了颠覆整个半导体物理大厦的裂缝。
当科恩还在为封锁了天空而沾沾自喜时，林向阳已经带着他的团队，潜入了深海。