2013年6月15日,北京西郊,“深渊”实验室。
初夏的北京燥热难耐,但在这深入地下三十米的恒温实验室里,气氛却冷得让人骨头缝里冒寒气。
“第42批次,KrF光刻胶验证结果……”
负责检测的工程师声音颤抖,不敢抬头看身边的那几位大佬。他将一张刚刚出炉的12英寸晶圆扫描图投射到大屏幕上。
原本应该光滑如镜、刻满精密电路的晶圆表面,此刻在显微镜的高倍视野下,呈现出一幅令人绝望的景象——密密麻麻的微小针孔(pinholes)像是一张长满麻子的脸,分布在每一条光刻胶的沟槽里。
还有那些肉眼不可见的残胶,像是一块块顽固的皮癣,死死地粘附在硅片表面,怎么洗都洗不掉。
“良率……”工程师吞了吞口水,“0%。”
“砰!”
朱教授狠狠地把记录本摔在桌子上,脸色铁青:“又是杂质!又是过滤不干净!这已经是这个月报废的第十批晶圆了!陈志平到底在搞什么鬼?他送来的是光刻胶还是胶水?!”
一旁的赵子明也心疼得直嘬牙花子:“林总,这一锅胶下去,不仅胶钱没了,这一批测试用的晶圆也废了。再加上光刻机的电费、工时费……这一下子就是好几十万没了。这几个月,咱们已经烧掉快两个亿了。”
林向阳站在屏幕前,双手抱胸,面无表情地盯着那张“麻子脸”。
三个月。
从3月12日他在河北把陈志平请出山,到现在的6月中旬,整整三个月。
红星化工厂(现向阳新材)的改造以“深圳速度”完成了。最先进的进口反应釜、气相色谱仪、超纯水系统……林向阳像搬家一样把最好的设备都塞进了那个破县城。
陈志平那个“疯子”也确实拼命,吃住在实验室,一天只睡四个小时。
实验室里的小样明明已经很完美了,纯度达到了99.9999%(6个9)。可一旦放大到工业生产线,一旦装进那大罐子里,各种妖魔鬼怪就出来了。
金属离子超标、凝胶化颗粒、气泡残留……
化工行业的“放大效应”,就像是一道天堑,拦在了实验室和工厂之间。
“别骂了。”林向阳转过身,声音平静得可怕,“备车。去河北。”
……
河北,向阳新材(原红星化工厂)。
刚一进厂区,林向阳就感觉到了一股压抑的气息。
曾经那些在院子里打牌、晒太阳的工人不见了,取而代之的是一个个穿着全封闭防尘服、走路带风的身影。整个厂区实行了最严格的准军事化管理,连一只苍蝇都飞不进核心车间。
但在总工程师办公室里,气氛却像是一个即将爆炸的高压锅。
“我不信!一定是检测设备有问题!”
陈志平头发乱得像鸡窝,眼窝深陷,正对着电话咆哮,“我的配方绝对没问题!小样检测明明是合格的!为什么一上大罐就出杂质?是不是你们的管道没洗干净?!”
看到林向阳推门进来,陈志平挂断电话,像个做错事的孩子一样,原本高亢的声音瞬间低了下去。
“林……林总。”
陈志平的手在脏兮兮的白大褂上蹭了蹭,不敢看林向阳的眼睛,“第42批次……又废了?”
“废了。”林向阳拉过一把椅子坐下,没有责骂,只是平静地陈述事实,“针孔密度每平方厘米50个,金属离子残留超标20倍。这批货连做低端LEd都不够格,更别说做芯片了。”
陈志平颓然地瘫坐在椅子上,双手抱着头,手指深深地插入灰白的头发里。
“我找不到原因……我真的找不到原因。”老人的声音带着哭腔,“我把所有的管路都换成了特氟龙,所有的过滤器都换成了0.02微米的进口滤芯。连工人的呼吸我都让他们憋着……为什么?为什么还是有钠离子混进去?”
对于做精细化工的人来说,钠离子就是噩梦。它无处不在,却又致命。只要几个ppb(十亿分之一)的钠离子混入光刻胶,在电场作用下,它们就会像地鼠一样在绝缘层里乱窜,导致芯片短路。
林向阳看着眼前这个快要崩溃的老人。
他知道陈志平已经尽力了。这三个月,这个六十岁的老头瘦了整整二十斤。
“陈工。”林向阳开口道,“你有没有想过,也许污染源不在设备里?”
“不在设备里?”陈志平抬起头,满眼血丝,“那在哪里?原材料我都检测过一百遍了!”
“在泵。”林向阳指了指桌上的流程图,“我刚才进车间的时候,听到了输送泵的声音。你用的是什么泵?”
“国产的不锈钢离心泵啊,但我做了内衬处理……”
“换掉。”林向阳打断他,“离心泵的高速旋转会产生微小的机械磨损,哪怕是不锈钢,也会掉落下肉眼不可见的金属微粒。对于油漆来说这无所谓,但对于光刻胶,这就是毒药。”
“换成磁悬浮泵。或者气动隔膜泵。所有接触液体的部件,必须是全塑料材质,连一颗螺丝钉都不能是金属的。”
陈志平愣住了。他搞了一辈子化工,习惯了“差不多就行”的工业标准。在这个ppb级别的微观战场上,他的思维还是不够极致。
“磁悬浮泵……那玩意儿一套就要几十万,而且全是进口的,现在买肯定来不及……”陈志平喃喃自语。
“钱的问题我来解决。渠道的问题,我让王博去黑市搞。”林向阳站起身,走到陈志平面前,双手按住老人的肩膀。
“陈工,我知道你很难。这三个月,我们烧了两个亿。集团内部有人说你是骗子,有人说我是傻子。但我从来没在你面前提过半个字。”
“因为我知道,这是在无人区里探路。前面一千次都是死路,只要第一千零一次走通了,我们就赢了。”
“现在,我给你搞定泵,给你搞定最好的滤芯。你给我打起精神来,再试一次。行不行?”
陈志平抬起头,浑浊的眼睛里重新燃起了一团火。那是一种士为知己者死的决绝。
“行!只要林总你不撤资,我就算把骨头熬成油,也要把这批胶给你炼出来!”
……
2013年6月20日,北京,向阳大厦。
深夜。
林向阳坐在办公室里,面前摆着一份财务报表。
虽然四川的矿场每天都在产生惊人的现金流,但“深渊”和“河北”这两个吞金兽的胃口实在太大了。
光刻机不仅要生产,还要改进,还要养着几百号顶级工程师。河北那边,为了排查杂质,每一批原材料都是按吨报废。
再加上“方舟”项目刚刚启动,也是个只进不出的无底洞。
报表底部的红色数字触目惊心:流动资金警戒线。
“咚咚。”
沈清仪推门进来。她已经出了月子,恢复了工作,但身材还有些丰腴,脸上带着初为人母的光辉。
“这么晚还在看报表?”沈清仪把一杯热牛奶放在桌上,“王博说,河北那边又申请了五千万的设备采购款?说是要换什么磁悬浮泵?”
林向阳下意识地把报表合上,笑了笑:“是啊,老陈那个人,精益求精嘛。我想着既然做了,就做到极致。”
“向阳。”沈清仪按住他的手,目光温柔却犀利,“别瞒我。我是法务,也是股东。公司的资金流什么情况,我大概能猜到。”
“供应链断供的影响已经显现了,部分上游厂商要求现结。矿场的收益虽然不错,但还填不上河北那个窟窿。听说……董事会里那几个老家伙已经在闹了,说陈志平是个填不满的坑,建议止损。”
林向阳沉默了片刻,端起牛奶喝了一口。
“止损?”他冷笑一声,“现在止损,之前的两个亿就真打水漂了。而且,一旦停下来,日本人就会知道我们输了。到时候,他们开出的复供条件,会是要我们的命——比如交出光刻机的控制权,或者停止自研芯片。”
“所以,不能停。”
林向阳从抽屉里拿出一份文件,递给沈清仪。
沈清仪接过来一看,脸色变了。
《不动产抵押贷款协议》 抵押物:向阳大厦A座、b座及附属地块使用权。
“你要抵押总部大楼?”沈清仪的声音提高了几分,“林向阳,你疯了?这是我们的根基!万一河北那边再失败……”
“没有万一。”林向阳站起身,走到落地窗前,俯瞰着脚下这座属于他的商业帝国,“清仪,这栋楼是死的,但技术是活的。如果为了保住几块砖头而丢掉了未来的钥匙,那才是真正的败家。”
“而且……”他转过头,看着妻子,“我不是在赌博。我相信陈志平,也相信我自己。那个老头已经找到了问题的症结。只差这最后一口气。”
沈清仪看着他。
那个男人的眼神,和多年前他要在废墟上建立向阳集团时一模一样。疯狂,却又令人信服。
良久,沈清仪叹了口气,拿起笔,在协议的法务审核栏上签下了自己的名字。
“我和你一起赌。”沈清仪合上文件,“但你得答应我,这是最后一次。如果这五千万烧完还不出货,我们就必须启动裁员止损计划。”
“好。”林向阳走过去,轻轻抱住了她,“谢谢你,老婆。”
“别谢我,给儿子赚奶粉钱去。”沈清仪把头埋在他怀里,听着那有力的心跳声,“要是楼没了,我们就回老家种地去。”
“放心,种地我也能种出金子来。”
……
2013年7月12日。
距离林向阳抵押大楼、更换全套输送系统已经过去了二十天。
河北,向阳新材。
第101批次KrF光刻胶正在进行最后的灌装。
这一次,所有的泵都换成了进口的磁悬浮泵,所有的管道都用了最高等级的pFA材料。陈志平甚至在最后一道过滤环节,加装了一套他自创的“多级磁吸附+纳米微孔”过滤系统。
“出料。”
陈志平的声音有些发抖。
琥珀色的液体缓缓流入棕色的玻璃瓶中。在强光的照射下,它晶莹剔透,没有任何肉眼可见的悬浮物。
“送检!快送检!”
样品被火速送往北京。
四个小时后。
“深渊”实验室。
林向阳、朱教授、赵子明,所有人都围在检测台前。
第101号晶圆被送入显微镜下。
屏幕亮起。
这一次,没有麻子,没有皮癣。
视野中,是一条条清晰锐利、边缘平滑如刀切般的深紫色线条。那是光刻胶在248nm激光下留下的完美印记。
defect density: < 0.05/cm2 metal Ion: < 5 ppb
数据跳出来的那一刻,朱教授猛地摘下眼镜,使劲揉了揉眼睛。
“这……这纯度……”朱教授的声音颤抖得不成样子,“这比信越化学的顶级货还要高!那个疯子……那个疯子真的做到了!”
“成了!!!”
赵子明一拳砸在桌子上,疼得龇牙咧嘴却在狂笑,“哈哈哈哈!成了!咱们有胶了!以后再也不用看日本人的脸色了!”
林向阳站在人群后,看着屏幕上那完美的线条。
他感觉背后的冷汗瞬间湿透了衬衫。
赌赢了。
那一千次的失败,那两个多亿的资金,那栋抵押出去的大楼,在这一刻,都化作了这几微米厚的琥珀色涂层,成为了向阳集团最坚硬的铠甲。
他掏出手机,拨通了陈志平的电话。
电话那头,是一片死寂。显然,老头也在等着判决。
“陈工。”林向阳的声音有些沙哑。
“怎……怎么样?”陈志平的声音像是从牙缝里挤出来的。
“你可以睡觉了。”林向阳轻声说道,“睡个好觉。醒来之后,准备接单吧。我们的一千零一次,成功了。”
电话那头沉默了几秒,随即传来了撕心裂肺的哭声。
那是一个六十岁的老人,在压抑了十五年、在失败了一千次后,对命运发出的怒吼。
林向阳挂断电话,转头看向窗外。
北京的夜空,星光璀璨。
“儿子。”他心中默念,“爸爸没把楼输掉。爸爸给你造了一座新的矿山。”