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第344章 那台趴窝的机器

    北京西郊。

    地面上,这里是一座挂着“向阳精密纺织”牌子的废弃老厂房,红砖墙上爬满了枯萎的爬山虎,寒风吹过,发出萧瑟的沙沙声。大门口只有一个看门的老大爷,看起来毫不起眼。

    但在厂房地下三十米深处,却是一个恒温、恒湿、防震等级达到核掩体级别的绝密空间。

    代号:“深渊”。

    这里没有白天黑夜,只有永远亮着的琥珀色黄光(光刻工艺对紫外线敏感,必须使用黄光照明)。

    林向阳换上了全套的白色无尘服,经过三道风淋室,走进了核心实验区。空气中弥漫着一股臭氧和光刻胶混合的特殊味道,那是半导体工业特有的“硝烟味”。

    “林董。”

    一个略显佝偻的身影迎了上来。

    这是一位头发花白的老人,眼窝深陷,满眼的红血丝,身上的白大褂领口已经磨破了边。大家都尊称他:朱教授。

    与负责手机芯片设计的梁国栋那种硅谷精英范儿完全不同,朱教授是那种典型的“中科院扫地僧”。他曾在大国重器的精密机械领域隐姓埋名几十年,为了造出中国自己的光刻机,被林向阳“三顾茅庐”请出了山,担任向阳集团光刻机攻关组的总负责人。

    “朱教授,辛苦了。”林向阳看着这位比半年前瘦了一圈的老人,心里有些发酸,“情况怎么样?”

    “还是那只‘拦路虎’。”

    朱教授指了指实验室中央那台被拆得面目全非的庞然大物。

    那是一台二手的尼康S204b光刻机,是向阳集团花了三个亿从二手市场上淘回来的。但此刻,它原本精密的外壳已经被全部拆除,露出了里面错综复杂的液压管路、激光干涉仪和密密麻麻的线缆。

    最核心的晶圆承载台位置,被朱教授团队改造成了两个并排的金属台,看起来像是一对钢铁双胞胎。

    这就是向阳集团正在攻关的“双工件台”(twin S)系统。

    这也是目前光刻机领域最核心、最难啃的骨头。传统的单工件台,曝光和测量在同一个台子上,效率低;而双工件台,一个台子曝光,另一个台子同时进行测量预对准,效率翻倍。这是量产高端芯片的必经之路。

    “我们的火种S1虽然卖得好,但那是台积电代工的。”林向阳看着那台机器,语气沉重,“科恩那些美国人笑话我们,说我们只会画图,不会造纸。这台机器,就是我们要造的‘纸’。”

    “只要这台机器能动起来,我们就有底气。”林向阳拍了拍栏杆,“开始吧,朱教授。让我看看它到底卡在哪儿。”

    “准备测试!”朱教授深吸一口气,对着对讲机下令。

    实验室里的气氛瞬间紧绷。

    十几名年轻的博士生迅速回到各自的控制台前。巨大的机械臂开始充能,发出低沉的嗡鸣声。

    “双工件台同步测试,第142次。目标速度:1.2米/秒。同步精度要求:20纳米。”

    随着指令下达,那两个沉重的金属工件台开始在磁悬浮导轨上滑动。

    起初,它们像是在冰面上优雅滑行的舞者,一个负责曝光,一个负责测量。两个台子交替运动,速度越来越快,带起的风声在封闭的腔体内呼啸。

    “速度0.8米/秒……震动正常。” “速度1.0米/秒……误差120纳米,正在修正。” “速度1.2米/秒!进入交换区!”

    就在两个工件台准备进行高速位置交换的瞬间——

    “嗡——咔!”

    一声令人牙酸的金属摩擦声猛然炸响,紧接着是防撞系统启动的巨响。

    “砰!”

    整个基座剧烈震动了一下,警报红灯疯狂闪烁。

    “紧急制动!紧急制动!”朱教授大吼着扑向急停按钮。

    机器停了下来。

    两个工件台死死地卡在导轨中间,只差几毫米就撞在一起。那昂贵的超平滑镜面导轨上,被划出了一道触目惊心的划痕。

    “失败了。”

    操作台前的博士生摘下耳机,绝望地抱着头,“同步误差5微米。在这个速度下,5微米就是一场车祸。”

    5微米。

    对于普通人来说,那是头发丝直径的十分之一,肉眼根本看不见。但在光刻机的世界里,这是马里亚纳海沟一样的差距。

    朱教授死死盯着屏幕上那条红色的误差曲线,身体开始剧烈颤抖。

    “为什么……为什么还是对不上?”

    他喃喃自语,声音沙哑得像是在泣血,“算法改了,电机换了,连地基的减震弹簧都换成了核潜艇用的。为什么还是瞎?”

    突然,朱教授身子晃了晃,向后倒去。

    “朱老!”

    林向阳眼疾手快,一把扶住了这位六十多岁的老人。

    朱教授的脸色惨白如纸,嘴唇哆嗦着,干枯的手紧紧抓着林向阳的手臂,指甲几乎陷进肉里。

    “林董……不是电机的问题,也不是算法的问题……”朱教授喘着粗气,眼神中透着一种深深的无力感,“是眼睛……是眼睛瞎了啊!”

    医护人员迅速冲进来,给朱教授吸氧、测血压。

    半晌,朱教授缓过一口气,推开氧气面罩,浑浊的泪水顺着眼角流了下来。

    “我们的光栅尺不行。”

    朱教授指着机器内部那几根看似不起眼的玻璃尺,“我们用的国产光栅尺,标称精度是10纳米,但在高速运动下,热膨胀和信号漂移太严重了。机器以为自己跑了1米,实际上它跑了1.000005米。这5微米的误差,就是瞎子在悬崖边跑步,必死无疑。”

    林向阳沉默了。

    他看着那台趴窝的机器,终于明白了问题的症结。

    这就像是给一辆F1赛车装了一个近视眼的司机。无论引擎动力多强,无论方向盘控制多精准,只要司机看不清赛道,结果只能是撞墙。

    制造光刻机,不仅仅是把零件组装起来,它考验的是一个国家的基础工业能力。材料、光学、精密加工……任何一个短板,都会成为致命伤。

    “我们需要什么?”林向阳问。

    “德国蔡司的皮米级激光干涉仪和光栅尺。”朱教授的声音充满了渴望,那是工程师对顶级工业皇冠的向往,“只有它们,能在1.5米/秒的高速下,把误差锁死在1纳米以内。”

    “买。”林向阳毫不犹豫,“多少钱都买。”

    “林董……”旁边的一位副总工程师苦笑着插话,“这不是钱的事。张明远cFo上个月就批了款子,我们也联系了欧洲的代理商。但是……”

    “但是什么?”

    “合同签了,定金付了。但昨天,德国海关把货扣了。”

    副总工拿出一份传真件,递给林向阳。

    那是一份德文和英文双语的通知书。上面盖着鲜红的印章,引用了《瓦森纳协定》的最新增补条款。

    【关于限制向特定国家出口高精度位移测量设备的通知】 【限制等级:A级(绝对禁运)】 【理由:涉及双重用途,可能用于军事制导或核工业。】

    “可能用于军事?”林向阳冷笑一声,把传真件攥成一团,“欲加之罪,何患无辞。他们不是怕我们造导弹,他们是怕我们造出真正的光刻机,怕我们的火种手机不再受他们摆布。”

    他想起了科恩。

    那个在情报里总是像幽灵一样盯着向阳集团的男人。

    既然火种S1已经证明了中国人能设计芯片,那科恩的下一步,必然是锁死制造芯片的“母机”。他要让向阳集团手里拿着最好的设计图,却只能用锤子和凿子去刻芯片。

    “朱老,您先去休息。”

    林向阳把朱教授扶到椅子上,眼神逐渐变得冰冷而坚定。

    “机器趴窝了,人不能趴窝。”

    他环视着实验室里那些年轻而沮丧的面孔。这些是全中国最顶尖的机械人才,他们为了这个项目熬白了头,却被几根玻璃尺子卡死在这里。

    “这台机器,必须动起来。”

    林向阳的声音在空旷的地下实验室里回荡。

    “既然正门被他们锁上了,那我们就走后门。后门堵了,我们就爬窗户。窗户也封了,我们就挖地道。”

    他转身向外走去,拿出了那个加密的手机。

    “cFo张明远在哪里?”

    “张总正在和几家银行谈贷款,为了给存储芯片输血。”助理回答。

    “让他停下手里的事。”林向阳一边走一边拨通了王博的电话,“另外,叫王博去我的秘密办公室。我们要动用‘那笔钱’了。”

    “哪笔钱?”助理一愣。

    林向阳停下脚步,回头看了一眼那台在黄光下显得格外狰狞的废铁机器。他的眼神如同那台机器一样冰冷、坚硬。

    “地下的钱。”

    山高水深,寸步难行。险难之中,必有解脱之道。

    既然地上的规则是科恩定的,那就去地下,用属于“暗物质”的规则,把这双眼睛给买回来。

    哪怕那里是泥潭,是黑市,是充满了欺诈和暴力的法外之地。

    为了这0.01秒的同步,为了这5微米的精度,林向阳准备把自己变成一个赌徒。