《重生从1993开始》正文 第一五九二章 花开两朵，天各一方

    一座原本属于航天管理局旗下的研究所，如今被挂牌了北斗卫星导航公司的牌子。而高德却也是北斗卫星导航公司的股东之一，持有北斗卫星公司15%的股权。北斗卫星旗下，现在有大陆卫通、大陆卫星等公...林坚的声音并不高，却像一粒石子投入静水，瞬间在会议室里激起层层涟漪。他站在投影幕布侧后方，左手还捏着一支没拧紧笔帽的黑色签字笔，指节微微泛白，衬衫袖口挽至小臂中段，露出一道浅褐色旧疤——那是早年在平阳半导体老厂房调试光刻机校准台时，被飞溅的紫外激光灼伤留下的印记。没人说话。连唐黛娟都偏过头来，镜片后的目光第一次真正落在这个三十出头、履历表上只写着“平阳半导体光刻工艺组技术主管”的年轻人身上。瓦森纳喉结动了动，没出声，但右手下意识摸向西装内袋里的雪茄盒，又顿住——这是他在重大决策前的习惯性动作，此刻却卡在半途，像被无形的线勒住了。阿斯麦皱眉：“用水？浸没式？那会带来严重的散射、气泡、热漂移和镜头污染问题。193纳米激光在水中折射率突变，焦深会压缩到不足200纳米，对晶圆平整度的要求比空气环境严苛十倍以上。”“所以不是要解决它。”林坚往前踱了两步，站到投影幕布前，抬手用笔尖点向屏幕上SVG刚提交的157纳米光刻机技术路线图，“尼康押157，佳能押193nm浸没式改进，SVG两边都沾一点，结果就是两边都落空。可诸位有没有算过一笔账——”他转身，在白板上迅速写下三行数字：【193nm空气环境 → 理论极限：65nm】【157nm真空环境 → 工程极限：48nm（需氟化钙透镜，成本暴涨300%，良率<35%）】【193nm浸没式（n=1.44）→ 等效波长：134nm → 理论极限：42nm】“42纳米，不是终点。”林坚笔尖重重一顿，墨点溅开，“而是跳板。只要突破浸没液循环纯度控制、双工件台同步精度、镜头热畸变补偿这三关，我们就能把193nm浸没式做到32纳米。再往后——”他忽然停顿，目光扫过英特尔代表克雷格，“克雷格先生，贵司Pentium 4芯片已逼近130nm瓶颈，若明年Q2东芯能提供32nm流片服务，您敢不敢把Prescott核心的第一批试产片，交给我们？”克雷格没立刻回答。他摘下眼镜，用衬衫下摆慢慢擦拭镜片，动作缓慢得近乎凝滞。三秒后，他重新戴上眼镜，镜片反光一闪：“东芯要先拿出32nm光刻胶匹配数据、掩模版误差补偿模型、以及至少五片合格的32nm逻辑测试晶圆。英特尔不赌概念，只认良率。”“没问题。”林坚点头，声音平静得像在说今天天气不错，“平阳半导体光刻工艺组，已在汉西省城西郊新建浸没式验证线。第一台改装版NSR-S205，上周已完成真空腔体改造，明天起开始注入超纯去离子水。水温恒控±0.01c，溶解氧<0.1ppb，颗粒度≤10nm。首批测试晶圆，三天后交付。”帕普肯忽然笑了一声，短促而锐利：“林工，你这‘三天’，是按你们平阳半导体自己的日历算的吧？还是按汉西省气象局发布的‘晴转多云，局部有雾’来定的？”满座轻笑。连吴新屹都绷不住嘴角。唯有唐黛娟盯着林坚，眼神像在端详一块刚切开的硅锭——表面粗粝，内里纹理却隐隐发亮。林坚没笑。他转身从公文包取出一个银灰色金属盒，打开，里面是一块约指甲盖大小的透明晶圆碎片，边缘呈锯齿状断裂，表面覆盖着极薄一层蓝紫色干涉膜。“这是昨天凌晨三点十七分，我们在S205改装机上做的第17次曝光实验。”他将碎片举到灯光下，蓝紫光晕在众人脸上流动，“曝光剂量120mJ/cm2，焦距偏差±0.8nm，显影后线宽Cd值31.7nm，3σ标准差0.53nm。缺陷密度：0.12个/cm2。”死寂。阿斯麦猛地站起来，椅子腿刮擦地面发出刺耳锐响。他快步上前，从口袋掏出便携式金相显微镜，颤抖着对准那片碎晶。镜头调焦三次后，他喉结剧烈滚动，却一个字没吐出来。“等等。”瓦森纳突然开口，声音沙哑，“你说……显影后？没做硬烘烤？”“没做。”林坚点头，“我们改用了新型负性光刻胶配方，主链含氟硅氧烷-丙烯酸共聚物，玻璃化温度降低至98c。硬烘烤环节取消，直接进入刻蚀——这样能避免热应力导致的线条坍塌。目前良率78%，主要失效模式是边缘粗糙度超标，正在用等离子体后处理优化。”唐黛娟终于起身，绕过长桌走到林坚面前。她没看那片晶圆，而是直视林坚的眼睛：“林工，你跳过了光刻胶厂商认证流程，跳过了SEmATECH联合测试，跳过了所有国际通行的可靠性验证节点。就凭这一片碎晶，你让英特尔把下一代CPU的命脉交给你？”“不。”林坚摇头，“这片晶圆，只是证明‘浸没式可行’。真正的命脉——”他顿了顿，目光扫过在场所有人，“是东芯与平阳半导体共建的‘天工-浸没式联合实验室’。实验室选址就在汉西省城高新区，离SVG代工厂直线距离2.3公里。所有设备采购走天工计划绿色通道，进口关税全免，海关查验优先放行。SVG提供光刻机整机平台，平阳提供工艺包，东芯负责流片验证，英特尔提供设计规则文档和测试向量。三方共管，数据实时同步，源代码级开放。”他掏出一张U盘，轻轻放在会议桌中央：“这里面是全部原始数据、工艺参数、失败记录。包括今天上午刚发生的第18次实验——因冷却泵微振动导致曝光模糊，缺陷密度骤升至4.7个/cm2。没有修饰，没有筛选，每一条错误码都原样保留。”吴新屹这时才开口，语气带着恰到好处的疲惫与笃定：“唐黛娟女士，克雷格先生，各位同仁。东芯不要神话，只要进度。天工计划第一阶段目标很具体：十八个月内，实现32nm浸没式量产工艺；二十四个月内，攻克22nm双重图形技术；三十六个月内，完成16nm四重图形+自对准多重成像验证。这不是PPT上的饼，是平阳半导体西郊厂区每天24小时运转的十二台验证机台，是东芯上海封测厂同步建设的32nm后道封装线，更是——”他看向唐黛娟，一字一顿：“更是我们刚刚签署的《天工计划补充协议》第七条：任何参与方若单方面终止技术共享，须向其他方支付相当于其当年半导体营收15%的违约金，并永久丧失天工计划所有知识产权许可权。”唐黛娟沉默良久，忽然笑了。那笑容很淡，却让阿斯麦后颈汗毛竖起：“李总果然没看错人。东芯要的从来不是施舍，是资格。”话音未落，会议室门被推开。倪广南快步进来，将一份加急文件递给吴新屹。吴新屹扫了一眼，眉头微扬，随即转向林坚：“刚收到消息，日本尼康宣布暂停157nm项目，全面转向193nm浸没式。他们……比我们晚了七十二小时。”满堂哗然。帕普肯猛拍桌子：“他们抄我们方案！”“不。”林坚摇头，从公文包第二层取出一本硬壳笔记本，翻开其中一页，上面密密麻麻全是手绘的流体动力学公式和水路结构草图，“他们抄的，是我们三年前废弃的初代方案——用纯水做浸没液，没考虑离子迁移。我们现在的方案，浸没液是掺入0.0003%氟化铵的超纯水，既抑制电荷累积，又保持折射率稳定。尼康那帮人……还在跟气泡搏斗。”他合上笔记本，封面印着褪色的“平阳半导体工艺所·1991级实习手册”。窗外，汉西省城十月的阳光正斜斜切过玻璃幕墙，在会议桌上投下清晰的光带。光带边缘，一粒悬浮的微尘缓缓旋转，折射出七彩光晕。就在此时，吴新屹手机震动。他瞥了眼屏幕，是牛蓉发来的加密短信，只有八个字：【ARm私有化预案，启动。】吴新屹没回复，只是将手机翻转扣在桌面上。金属外壳与红木桌面相触，发出一声极轻的“嗒”。那声音几乎被淹没在突然爆发的讨论声里——克雷格已拿起电话打给圣克拉拉总部，要求立刻组建32nm联合攻关小组；瓦森纳正用卫星电话联系德国亚琛工业大学，催促他们加速输送流体光学博士；就连一直沉默的SVG工程师，也围住林坚追问浸没液循环系统的密封材料参数……唐黛娟静静看着这一切，忽然转向李东陵的方向，声音轻得只有邻座能听见：“李总，您埋的这颗钉子……扎得真准。”李东陵没在场。但此刻，在汉西省城西郊平阳半导体新厂区顶层观测室里，他正透过单向玻璃，俯视下方洁净车间中那台泛着幽蓝冷光的NSR-S205改装机。机械臂正将一片崭新的12英寸硅片送入曝光腔，腔门缓缓闭合，真空泵启动的低频嗡鸣透过玻璃传来，震得他指尖微微发麻。他没回头，只对着身后空气说：“通知财务，把东芯半导体明年的研发预算，再追加五亿美元。用途写清楚——‘天工-浸没式联合实验室二期建设’。”身后助理应声而去。李东陵仍凝视着那台机器。玻璃倒影里，他眼角细纹在强光下格外清晰，像芯片上蚀刻的精密电路。三年前，他站在同一扇窗前，看工人拆掉老式接触式光刻机，搬进第一台二手GCA步进式设备；两年前，他在这里签收从阿姆斯特丹运来的SVG光刻机核心模块，包装箱上还沾着北海的咸腥水渍；而此刻，那台曾被全球巨头视为“技术死胡同”的193nm机器，正被一群平均年龄不到三十二岁的中国工程师，改造成撬动摩尔定律的新支点。楼下，曝光腔红灯亮起。绿灯亮起时，将是人类半导体史上第一个32nm浸没式逻辑芯片的诞生时刻。李东陵终于转身，走向门口。经过走廊尽头那面巨大的时间轴壁画时，他脚步微顿。壁画从1947年贝尔实验室晶体管启始，横贯整个墙面，最后定格在2003年——那里本该空白，却被一行新鲜墨迹填满：【｜汉西省城｜32nm浸没式光刻验证成功｜平阳半导体×东芯半导体】墨迹未干，犹带湿润的光泽。他伸手，用拇指轻轻抹过那个日期。指腹传来细微的砂砾感——那是特制防伪墨水里的二氧化硅微粒，混在颜料里，像芯片基底上最原始的硅晶核。走廊尽头，厂区广播突然响起，女声平稳而清晰：“请注意，天工-浸没式联合实验室首次全系统联调即将开始。请各工序人员就位。重复，首次全系统联调……”声音渐远。李东陵推开门，步入电梯。金属门关闭前，最后一缕光线勾勒出他挺直的肩线，像一把尚未出鞘的剑。电梯下降，数字跳动：12…11…10…而在地下三层的光刻胶研发室，黄灵仪正将一滴新配制的氟硅氧烷溶液滴入高速离心机。转速飙升至12000rpm时，她按下计时器——滴答。滴答。滴答。那声音，与三十五公里外汉西省城高新区新建的天工计划总部大楼顶层钟楼报时声，恰好同频共振。此时，港城数码港科技中心，一间挂着“未来产业基金会”铭牌的办公室里，一台加密电脑屏幕幽幽亮起。自动弹出的邮件标题赫然写着：【ARm私有化操作指令已生效｜收购主体：港城芯源科技有限公司｜资金路径：知行基金会信托账户｜执行时间：2003年10月18日零时】邮件末尾，附着一份扫描件——是三年前李东陵亲手签署的《mIPS架构长期授权备忘录》复印件。纸页右下角，一行小字被红笔圈出：【本授权不受任何第三方技术封锁、出口管制或政治干预影响。若发生前述情形，东科有权单方面激活备用架构协议。】红圈旁边，是李东陵龙飞凤舞的签名，墨色浓重，力透纸背。窗外，维多利亚港灯火如星河倾泻。一艘货轮正缓缓驶离码头，船身漆着模糊的“STARLIGHT”字样，甲板上整齐码放着数十个印有“SVG-PRoToTYPE”标识的银色货柜。集装箱锁扣处，一枚微型定位芯片无声闪烁，信号直连汉西省城平阳半导体数据中心。夜风掠过海面，卷起细碎浪花，扑向岸上鳞次栉比的玻璃幕墙。无数扇窗内，灯光次第亮起，汇成一片浩瀚光海——那里有正在编译32nm工艺库的程序员，有调试EUV光源谐振腔的物理学家，有测算ARm指令集兼容层的架构师，还有趴在实验台边，用放大镜数着晶圆上纳米级线条的实习生。他们不知道自己正站在一场风暴的中心。他们只知道，今天下班前，必须把那份32nm光刻胶的粘度测试报告交上去。因为明天一早，东芯半导体就要向全球发布《天工计划阶段性成果白皮书》。而白皮书首页，将印着一行加粗黑体字：【我们不追赶摩尔定律。我们重写它的定义。】