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第二百七十一章 成功了!光刻工厂实现了!
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检测光束设备给出的数据反馈让所有人大吃一惊,3纳米的极紫外光束,这岂不是说他们即将具备制造3纳米芯片的条件?
众所周知,在不考虑《多重曝光技术》的情况下,想要刻出几纳米级的芯片,就要先制造出多少纳米的紫外光光源。
193纳米的深紫外光还好说,大自然里面也能找得到,
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